单　　室

双　　室

电　　　源

110/220V-240V 50-60Hz

380-415V/50-60Hz 3 phase

功　　　率

750kw

1500kw

真空室尺寸

440*440*115mm

570*470*118mm

热封条尺寸

440*10mm

500*10mm

排　气　量

20m³/hr

50m³/hr

真空压强

0.66kpa

0.66kpa

机器尺寸

660*610*1070mm

1320*920*1000mm